G10.5 Array Repair
設備技術核心
- 高精度激光控制技術
- 自動維修技術
- FSM技術
- CVD Alloy合金技術 （科韻專利）
- Ag/PR INK技術
- 低成本1μm Cut技術
設備應用場景
- 顯示面板行業(yè)陣列制程金屬線路斷路維修
- 顯示面板行業(yè)陣列制程金屬線路殘留維修
- 顯示面板行業(yè)陣列制程光刻殘膠殘留維修
- 應用于G10.5代線 玻璃基板尺寸3370×2940mm
| 產品 | G10.5 Array Repair |
| Array:2Cycle： | AG Line Inkjet Process =>2Cycle +線寬（7um）+膜厚（＞1500A） |
| Inline Ink | 140s |
| Final Ink | 200s |
| Array CUT | 1點 42s |
| Array CVD： | Line CVD Processing=>2cycel+線寬（5um）+厚度（＞2000A）120s 126s |
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